水下γ能谱仪是一种分析物质元素的仪器，常与扫描电镜或者透射电镜联用，在真空室下用电子束轰击样品表面，激发物质发射出特征x射线，根据特征x射线的波长，定性与半定量分析元素周期表中B－U的元素，EDS可提供样品表面之微区定性或半定量之成份元素分析，以及特定区域之point、linescan、mapping分析。

 

　　水下γ能谱仪活度测量功能，配置的能谱分析程序具有重峰解析功能，且内置不同能量射线的探测效率曲线（考虑饱和体积），定量测量水中放射性。活度测量功能，配置的能谱分析程序具有重峰解析功能，且内置不同能量射线的探测效率曲线（考虑饱和体积），定量测量水中放射性。

 

　　EDS的分析方式有点分析、线分析和面分析；点分析得到一点的所有元素；线分析每次对的一条线做一种元素分析，多次扫描得到所有元素的线分布；面分析对一个面内的所有元素分析，测得元素含量是测量面范围的平均值；

 

　　瀑布图与能谱耦合测量活度功能，选取瀑布图上异常的时间段，可以获得该时间段内的累积谱，然后进行能谱分析，计算活度；在地图或者海图上显示剂量率等测量结果；放射性活度随时间变化连续显示；定制数据数据通信链路、数据远程传输模式；数据就地存储、回放功能。

 

　　X射线的自然宽度对谱仪的分辨率影响很大，为了提高谱仪的分辨率就要使X射线单色化，大大减小X射线的谱线宽度。X射线的单色性越高，谱仪的能量分辨率也越高。

 

　　紫外光电子能谱仪中使用的高强度单色紫外线源常用稀有气体的放电共振灯提供。电子枪的关键部件是电子源和用于电子束聚焦、整形和扫描的透镜组件。电子源可用热电离发射或场发射。